|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertační práce se zabývá experimentálním studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivního naprašování. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucí harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měření iontové koncentrace a elektronové teploty v nízkoteplotním technolo- gickém plazmatu. Běžně je používána klasická Langmuirova sonda, ale jejípoužití v podmínkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřící metoda plovoucí harmonické sondy řeší tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měření plovoucí harmonickou sondou jsou porovnány s měřením Langmuirovou sondou při nereaktivních podmínkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena její funkčnost i během reaktivních podmínek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucíharmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulzních výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocítéto metody může být určena kapacita a...
|
|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...
|
|
|
Elektrické výboje pro využití při čištění vody
Lukeš, Petr ; Člupek, Martin ; Babický, Václav ; Tothová, I. ; Vykouk, T. ; Říhová -Ambrožová, J. ; Janda, V.
Nerovnovážné plasma generované elektrickými výboji v kapalinách iniciuje různé chemické a fyzikální procesy, které mohou být potenciálně využity v různých environmentálních, biologických či medicínských aplikacích. V závislosti na typu výboje a dodané energii tyto procesy zahrnují vysoké elektrické pole, ultrafialové záření, rázové vlny a hlavně tvorbu různých reaktivních chemických individuí. Bylo prokázáno, že tyto fyzikální a chemické procesy jsou schopny inaktivovat a odstranit různé mikroorganismy a chemické látky rozpuštěné ve vodě. Tato prezentace je věnována přehledu základních principů elektrických výbojů ve vodě se zvláštním důrazem na impulsní (elektrohydraulické) výboje, fyzikální a chemické účinky iniciované těmito výboji ve vodě a jejich využití při čištění vody.
|
host ::
RSS.